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真空概述

作者:  转载自:  发布日期:10/19/2013

真空是指给定空间内的气体压强小于该地区一个标准大气压的 气体状态。真空是稀薄的气体,与大气相比它有一系列优点,例如气 体稀薄,氧气少,环境清洁,没有水气,气体分子密度小,各种气体 运动无阻碍等等。利用真空环境,可以实现真空镀膜、真空输送、真 空脱气、真空熔炼、抽除有害气体、空间模拟,以及化工、食品、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等等工业生产过程。由于上 述的特点,在真空环境中进行某些工艺过程有着一些不可比拟的优点。

在真空状态下,气体的稀薄程度通常用压强值来表示,但在实际 真空应用中,通常习惯用“压力”来代替“压强”作为气体稀薄程度 的表示。现代真空技术能获得的气体压强为大气压至10-11Pa 的真空。 这是一个非常大的真空范围,而且各个真空应用部门所涉及的工作压 强的范围不尽相同,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用, 现今只能根据不同的工作压强范围和不同的工作要求,使用不同类型 真空泵。为了使用方便以及经济性的要求,有时将各种真空泵按其性能要求结合起来,以机组形式出现。

真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按工作原理,基本 上分为气体传输泵及气体捕集泵。

常用的气体传输泵有:往复真空泵、旋片真空泵、定片真空泵 滑阀真空泵、液(水)环真空泵、罗茨真空泵、分子泵、喷射泵、  散泵、油增压泵。

常用的气体捕集泵有:吸附泵、离子泵、低温泵、吸气剂泵。

目前,世界上生产真空设备的有德国的莱宝(LEYBOLD)公司、 西门子(SIEMENS)公司;美国的爱德华(EDWARDS)公司;法国 的阿尔卡特(ALCATEL)公司;瑞士的巴尔察斯(BALZERS)公司; 中国的浙江真空设备集团有限公司(ZVEGC)等等。



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