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主要技术指标和配置: Ø 极限真空度：2×10-6 托 Ø 工作真空度：5×10-5 托，达到工作真空度时间小于20分种。 Ø 真空室内部尺寸：两个真空室，每室内部尺寸为 610（W）Х500 （D） Х570（H）mm Ø 主真空室：两个独立的真空室，操作完全独立。可同时工作也可单独工作。 Ø 器件托盘有效层数：5层。 Ø 加热方式：铠装电阻丝加热，每一真空室内分部六组加热丝，并配六组热电偶，每一组加热丝均可单独工作。 Ø 控温方式：PID自动调节，每一层由一独立的PID控制，每一层目标温度、最大输出功率、PID参数均可单独设定。 Ø 最高加热温度：350℃ Ø 工作温度：室温至260℃或320℃可调，工作时可分两阶段加热。第一阶段加热温度为180℃，可设。 Ø 温度均匀性：±5℃ Ø 工作方式：连续工作，可手动，可自动。 Ø 操作方式：触摸屏。 Ø 控制方式：PLC加温控模块（松下） 具体技术指标 : 系统极限真空度：＜ 3 × 10-4Pa 工作真空度： 5 × 10-3 Pa 最高加热温度 :200 ℃ 最低制冷温度 :3 ℃ 工作温度 :150 ℃± 2 ℃ 温度均匀性 : ± 2 ℃ 温度超调范围 : ＜ 2 ℃ 真空室内洁净度 : 百级 真空舱体: 外径尺寸∮ 510*490 内部结构紧凑 , 采用玻璃焊接观察窗 , 整体放气率低。 抽气系统 : 采用无油干式泵组 , 性能稳定 , 电磁阀与旁抽阀互锁 , 避免因误操作而损坏分子泵。 自动控制系统 : 能够控制一级、二级真空泵的启动与关闭，加热﹑制冷的启动与关闭。真空度﹑加热最高温度和制冷最低温度的上限与下限值。保温时间﹑舱体内各部分温度误差等参数的自主设定与控制 . 加热及保温系统 :采用加热丝均匀缠绕内桶 ( 制冷系统 ) 壁 , 来实现均匀 , 高发热率的真空舱体内部快速加热功能 . 制冷及保温系统 :主体采用压缩机大功率直接对真空舱体制冷并配合加热系统进行热交换从而达到均匀﹑高效﹑快速的制冷效果 . 主要用途：为元器件进行高真空、中温退火处理。消除因点胶、微调等过程中产生的应力。 |
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