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小型真空镀膜装置(价格电议) (0篇用户评论|写评论)
商品品牌:北京优信
商品编号:13120402232138
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小型真空镀膜装置 VPC-260F
VPC系列/小型真空镀膜装置



 
特 性

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的电阻加热式低成本小型真空蒸发装置。最适合用于小基板尺寸的基础研究开发等实验。
 
应 用

1.
带脚轮,容易移动的排气装置。
2.
通过玻璃钟罩可看到内部,操作性能良好。
3.
不会使主泵停止运转,可以对真空槽进行开放。
4.
通过蒸发电源和电极的追加,实现同时蒸镀和多层蒸镀。

规格参数

型 号
VPC-260F
真空性能
极限压力
1.3 × 10-3Pa
6.6 × 10-4Pa (使用液氮时)
排气时间
4.0 × 10-3Pa/20min
1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮时)
真空舱
钟罩尺寸
玻璃钟罩 (直径300mm × 300mm(H))
馈通圈
8个端口(8侧面)
标准基板・最大尺寸※1
□50mm ・ □140mm(最大)
供电系统
蒸发电极结构
1点式
蒸发电源
SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (最大)
排气系统
主泵
油扩散泵(气冷) 200 L/sec
液氮冷阱
前级泵
油旋片真空泵 100 L/min
油雾过滤器
可选
操作系统
主阀门
瓣阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
可选
控制
手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
可选
电离真空计
可选
外形
尺寸(主体)
530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H)
尺寸(蒸发电源)
480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
重量(主体)
75kg
重量(蒸发电源)
40kg
※1:不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。

条 件
             
型 号
VPC-250F
电源需求
主体
单相, 100V, 1.35kVA
蒸发电源
单相, 200V, 1.5kVA
接地端子 D级(接地抗阻/100Ω 或更低)
附件
主体 : 单相, 100V
乙烯绝缘软电缆(带插头) 2m
蒸发电源 : 单相, 200V
乙烯绝缘软电缆(R2.0-5帯端子) 2m

外形图

VPC-260F

蒸发电源 SEREM




馈通圈

标准构造




可选部件
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