ZJQ系列气冷式罗茨真空泵的结构如图所示。在泵腔内,有二个转子(两叶或多叶)安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。与ZJ系列普通罗茨真空泵相比,ZJQ系列气冷式罗茨真空泵在泵体侧面适当位置设计有回流口,将冷却的气体导入泵腔内以冷却转子,使转子温度保持在规定的范围内,因此ZJQ系列气冷式罗茨真空泵可承受更高的压差(可达90kPa)而不会发生过热。
图1~图9为ZJQ气冷式罗茨真空泵工作过程: 如图1,在旋转过程中,泵上方的空腔逐渐变大,气体被吸入;转至图2时,左转子从泵入口封入V0体积的气体;当转至图3时,V0腔与回流管路接通,此时因排气侧压力要高于V0腔,因此排气口气体被换热器冷却后返流至V0腔;图4~图6,冷却气体充分进入V0腔并与转子进行换热;当转至图7时,V0腔与排气口接通,开始排气过程;从图7至图9可看出排气口阴影部分逐渐变小,左转子封入的气体连同返流的气体一起排出泵外。 当转至图5时,右转子也从泵入口封入V0体积的气体,其工作过程与左转子相同。 转子主轴旋转一周共排出6个V0体积的气体。 |