1959年成立博山真空泵厂，是我国近代真空工业的创始企业，产品应用于国家运载火箭工程。1985年更名为淄博真空设备厂，为成国家真空获得与真空应用设备专业生产的重点骨干企业。1996年与德国西门子合资，企业技术迅速增强，产品技术达到国际先进水平，国家重点工程普遍采用，承担了国家重大攻关项目。2000年改制为淄博真空设备厂有限公司, 开发力量不断壮大，产品先后被列入国家火炬计划，应用于国家重点工程服务于世界各个国家。2005年成立山东省真空设备工程技术研究中心（依托淄博真空设备厂有限公司）。