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一、产品介绍
◎ 标准台式机箱，外形美观实用
◎ 检测量程宽，横跨10个量级
◎ 检漏口耐压高
◎ 全液晶触摸彩屏，操作方便
◎ 检漏状态一键清零
◎ 中英文菜单界面
◎ 整机到达国际先进水平
二、主要技术指标
1. 最小可检漏率：5×10-13Pa·m3/s
2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-13Pa·m3/s
3. 启动时间：≤3min
4. 响应时间：≤1.0s
5. 检漏口的最高压力：1500Pa
7. 机械泵抽速：3L/s
8. 电源要求：220V，50Hz，单相，10A
9. 工作环境：5-35℃
10. 相对湿度：≤80%
11. 外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）
12. 重量：60kg
三、主要配置
1. 进口检漏仪专用分子泵
2. 优成机械泵
3. 渗氦型校准漏孔
4. 美国AD放大器
5. 质谱专用模块
6. 液晶触摸彩屏
四、气路图
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氦质谱检漏仪的工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其
质谱原理如图所示。
氦质谱检漏仪的质谱学原理
灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进
入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，
由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径
式中 R ——离于偏转轨道半径（cm） B ——磁场强度（T）
M ——离子的质（量）／（电）荷比（正整数）
Z
U ——离子加速电压（V）
由上式可知，当 R、B 为定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接
收缝到达接收极而被检测。
氦质谱检漏仪的检漏方式
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，ZXL-830 型氦质谱检漏仪可达 1500Pa（一
般常规检漏仪为 0.05Pa 以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸枪检漏。逆扩
散方式还具有质谱室不易受污染，灯丝寿命长等优点。
1、吸枪法
被检件充入高于大气压的探索气氦，检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体采集器。当试件有漏时，泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪，而被检测。吸枪在试件表面移动，同时注视检漏仪漏率指示的变化，一旦泄漏增加，吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。
2、 钟罩法——测总漏率
将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检
件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，最终达到质谱管被检测（图 l－6） 。所测漏率
是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。
可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。
3、 背压法——测总漏率
电子元器件进行气密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入
氦气（由压力和时间控制压入的量） ，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用
检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器
件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。用这种
方法测得的漏率也是总漏率。图 1－7 为背压法检漏示意图。
4、 辅助真空系统
对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检
漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提
高对被检件的抽速。最简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门（图 1-8） ，复
杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系
或罗茨泵，前级系最好用气镇式机械泵。
附表：
漏率单位换算表
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Pa·m3/s |
Torr·L/s |
mbar·L/s |
atm·cc/s |
Std·cm3/s |
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1 |
Pa·m3/s |
1 |
7.5 |
10 |
9.9 |
9.9 |
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|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
Torr·L/s |
0.133 |
1 |
1.33 |
1.33 |
1.33 |
|
|
|
|
|
|
|
|
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1 |
mbar·L/s |
0.1 |
0.75 |
1 |
0.99 |
0.99 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
atm·cc/s |
0.101 |
0.76 |
1.01 |
1 |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
Std·cm3/s |
0.101 |
0.76 |
1.01 |
1 |
1 |
|
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|
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压力单位换算表
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Pa |
Torr |
mbar |
bar |
atm |
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1 |
Pa |
1 |
0.75×10-2 |
0.01 |
10-5 |
0.99×10-5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
Torr |
133 |
1 |
1.33 |
1.33×10-3 |
1.32×10-3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
mbar |
100 |
0.75 |
1 |
10-3 |
0.99×10-3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
bar |
105 |
750 |
1000 |
1 |
0.99 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
atm |
1.013×105 |
760 |
1013 |
1.013 |
1 |
|
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