设 备 型 号

ZRJ-20-18TB

ZRYJ-20-10L

ZRYJ-30-10L

ZRM3-15-6L

ZRJ-50-19LB

ZRJ-80-22L

ZRJ3×6-80-20

设备名称

真空测试炉

真空预烧炉

三工位真空预烧炉

高真空烧结炉

六工位真空烧结炉

额定加热功率kVA

20

20

30

15

50

80

80

最高加热温度（空炉）℃

1800

1100

1100

650

1900

2200

2050

额定工作温度℃

1700

850

850

450

1800

2050

1950

最大承载量㎏/炉

1

10

10

10

5

5

5×6

均温区有效尺寸㎜

φ80×70H

φ140×270H

φ140×350H

φ140×390H

φ140×260H

φ140×260H

φ140×260H

温度均匀性℃

±5

±5

±5

±5

±5

±5

±5

空炉升温时间 min

30(室温到1700℃)

30(室温到850℃)

30(室温到850℃)

30(室温到450℃)

30(室温到1800℃)

30(室温到2000℃)

30(室温到1900℃)

炉恢复真空时间min

10

15(大气到6×10-1Pa)

15(大气到6×10-1Pa)

20(大气到6×10-1Pa)

10(大气到1.2×10-1Pa)

15(大气到4×10-3Pa)

15(大气到1.2×10-2Pa)

极限真空度(空炉)Pa

1×10-4

1×10-1

1×10-1

1×10-1

2×10-4

2×10-4

2×10-4

工作真空度Pa

4×10-3

6×10-1

6×10-1

6×10-1

4×10-3

4×10-3

4×10-3

压升率Pa/h

0.5

0.5

0.5

0.5

0.2

0.2

0.5

冷却方式

自然冷却300℃充高纯Ar

外循环强制冷却300℃充高纯Ar

真空炉管水喷淋强制冷却

自然冷却300℃充高纯Ar

外循环强制冷却300℃充高纯Ar

空炉冷却时间min

90(300℃～50℃)

90(300℃～50℃)

90(300℃～50℃)

120(450℃～70℃)

90(300℃～50℃)

90(300℃～50℃)

30(300℃～50℃)

惰气耗量

0.5Nm3/炉

供气压力0.2MPa

干燥高纯(99.99%)Ar

冷却水耗量

5 m3/h,0.2～0.3 MPa

10m3/h,0.2～0.3 MPa

10m3/h,0.2～0.3 MPa

10m3/h,0.2～0.3 MPa

10m3/h,0.2～0.3 MPa

12m3/h,0.2～0.3 MPa

14m3/h,0.2～0.3 MPa

压缩空气耗量

0.1m3/h,0.6～0.8 MPa

设备总功率kVA

30

30

40

40

70

100

130