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| 商品品牌：北京优信 | | 商品编号：13120402232138 |
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小型真空镀膜装置 VPC-260F
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| 特 性 |
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在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的电阻加热式低成本小型真空蒸发装置。最适合用于小基板尺寸的基础研究开发等实验。
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| 应 用 |
| 1. |
带脚轮，容易移动的排气装置。 |
| 2. |
通过玻璃钟罩可看到内部，操作性能良好。 |
| 3. |
不会使主泵停止运转，可以对真空槽进行开放。 |
| 4. |
通过蒸发电源和电极的追加，实现同时蒸镀和多层蒸镀。 | | |
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型 号 |
VPC-260F |
| 真空性能 |
极限压力 |
1.3 × 10-3Pa
6.6 × 10-4Pa (使用液氮时) |
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排气时间 |
4.0 × 10-3Pa/20min
1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮时) |
| 真空舱 |
钟罩尺寸 |
玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H)) |
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馈通圈 |
8个端口（8侧面） |
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标准基板・最大尺寸※1 |
□50mm ・ □140mm（最大） |
| 供电系统 |
蒸发电极结构 |
1点式 |
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蒸发电源 |
SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (最大) |
| 排气系统 |
主泵 |
油扩散泵（气冷） 200 L/sec |
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液氮冷阱 |
有 |
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前级泵 |
油旋片真空泵 100 L/min |
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油雾过滤器 |
可选 |
| 操作系统 |
主阀门 |
瓣阀 |
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副阀门 |
三向切换阀 |
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自动渗漏阀 |
可选 |
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控制 |
手动控制 |
| 控制系统 |
皮拉尼真空计 |
可选 |
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电离真空计 |
可选 |
| 外形 |
尺寸（主体） |
530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H) |
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尺寸（蒸发电源） |
480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) |
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重量（主体） |
75kg |
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重量（蒸发电源） |
40kg |
※1:不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
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型 号 |
VPC-250F |
| 电源需求 |
主体 |
单相, 100V, 1.35kVA |
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蒸发电源 |
单相, 200V, 1.5kVA |
| 接地端子 |
D级（接地抗阻/100Ω 或更低） |
| 附件 |
主体 ： 单相, 100V |
乙烯绝缘软电缆（带插头） 2m |
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蒸发电源 ： 单相, 200V |
乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m |
 VPC-260F |
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蒸发电源 SEREM |
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※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。 |
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配送地域范围 |
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