小型高频溅射装置（价格电议）_实验设备价格_实验设备厂家

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小型高频溅射装置

VTR-150M/SRF (SCOTT-C3)

SCOTT系列／小型高频溅射装置

特　性

是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜，所以最适合用于基础研究开发等实验。

应　用

1.	平行板射频磁控管
2.	主泵为涡轮分子泵
3.	所有测量计均安装于机架
4.	溅射速度30nm/min（SiO2），使用磁控溅射。
5.	底层交换，处理方便，从顶盖开启进行维护。
6.	可选反应式溅射

规格参数

型　号		VTR-150M/SRF
真空性能	极限压力	6.6 × 10^-4Pa
真空性能	排气时间	6.6 × 10^-3Pa/5min
真空舱	真空舱	金属舱 (直径310.5mm × 160mm (H))
	阴极	直径2inch, 3 电极
	标准基板	直径2 英寸(直径.50.8mm) × t1mm
	溅射有效区域	直径25mm
	溅射速度	SiO2, 成膜速度大于 30nm/min
	膜厚分布	SiO2, 在±10% 直径25mm
	基板加热	最大 350 ℃
	电极距离	50mm – 90mm (可变:半固定)
排气系统	主泵	涡轮分子泵 (230L/sec)
	液氮冷阱	–
	前级泵	油旋片真空泵 200L/min
	油雾过滤器	油雾过滤器 OMT-200A
操作系统	主阀门	L (角度)型阀门
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	可选
	控制	手动控制
控制系统	射频电源	最大 300W (变量: 40 - 300W)
	皮拉尼真空计	GP-1G
	电离真空计	GI-M2
外形	尺寸	1150mm(W) × 751mm(D) × 1067mm(H)
外形	重量	400kg

条　件

型　号	VTR-150M/SRF
电源需求	单相, 100V, 3.0kVA
接地端子	A级（接地抗阻/10Ω 或更低）
用水需求	2.0L/min（水温：低于25℃、水压：200kPa）
附件（电源）	乙烯绝缘软电缆（不带插头） 3m
附件（接地）	接地电缆（不带插头）　10m
附件（水）	Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头) 蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm） 4m（2根）

外形图

真空室内部构造

标准构造

[1]	电极
[2]	电极分隔
[3]	阴极
[4]	进气
[5]	密封法兰
[6]	观察孔
[7]	开闭器手把
[8]	开闭器
[9]	通风阀
[10]	测量计

取样托

[标准构造]

[特殊构造]

※	根据研究和开发的目的、可以变更。

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