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小型高频溅射装置 RFS-200

RFS系列／小型高频溅射装置

特　性

是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜，所以最适合用于基础研究开发等实验。

应　用

1.	紧凑且易于移动。
2.	TMP 实现高速排气。
3.	可通过流量控制阀连续控制进气
4.	适当的预溅射

规格参数

型　号		RFS-200
真空性能	极限压力	6.6 × 10^-4Pa
真空性能	排气时间	6.6 × 10^-3Pa/5min
真空舱	真空舱	金属舱 (200mm(W)×250mm(D)×150mm(H))
	阴极	直径80mm 1 电极
	标准基板	直径80mm × t1mm
	溅射有效区域	直径50mm
	溅射速度	SiO2, 成膜速度大于 20nm/min
	膜厚分布	SiO2, 在 ±8%直径50mm
	基板加热	最大 350 ℃
	电极距离	30mm – 60mm (可变)
排气系统	主泵	油扩散泵（水冷） 150 L/sec
	液氮冷阱	可选
	前级泵	油旋片真空泵 100 L/min
	油雾过滤器	油雾过滤器　OMT-100A
操作系统	主阀门	瓣阀
	副阀门	三向切换阀
	自动渗漏阀	可选
	控制	手动控制
控制系统	射频电源	最大 300W（変量：0 - 300W）
	皮拉尼真空计	G-TRAN
	电离真空计	可选
外形	尺寸	800mm(W) × 725mm(D) × 1459mm(H)
外形	重量	200kg

条　件

型　号	RFS-200
电源需求	単相, 100V,　1.3ｋVA
接地端子	A级（接地抗阻/10Ω 或更低）
用水需求	5.0L/min　（水温：低于25℃、水压：200-300kPa）
附件（电源）	乙烯绝缘软电缆（带插头） 2m
附件（接地）	乙烯绝缘软电缆（R3.5-54帯端子） 2m
附件（冷却水）	Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头) 蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm） 2m（2根）

外形图

真空室内部构造

标准构造

[1]	系统架
[2]	取样托
[3]	前门
[4]	靶材
[5]	观察孔
[6]	基板电极
[7]	测压孔
[8]	维修孔
[9]	开闭器
[10]	背板
[11]	靶材电极

取样托

标准构造

※	根据研究和开发的目的、可以变更。

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